電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀又稱為ICP光譜儀、ICP原子發(fā)射光譜儀，以電感耦合高頻等離子體為激發(fā)光源，利用每種元素的原子或離子發(fā)射特征光譜來判斷物質(zhì)的組成，進(jìn)行元素的定性與定量分析。

　　可以看到，ICP光譜儀主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、電感耦合等離子體光源(ICP)、光譜儀的分光(色散)系統(tǒng)以及檢測器-光電轉(zhuǎn)換器件等部分組成。其中，進(jìn)樣系統(tǒng)是ICP光譜儀的重要組成部分，也是當(dāng)前ICP光譜分析研究中較為活躍的領(lǐng)域，涵蓋液體、氣體或者固體進(jìn)樣。電感耦合等離子體光源(ICP)的重要性不言而喻，它是利用通過高頻電感耦合產(chǎn)生等離子體放電的光源。色散系統(tǒng)就是，將復(fù)合光通過色散元素分光，從而得到一條按照波長順序排列的光譜，即將復(fù)合光束分解為單色光。光電轉(zhuǎn)換器件是光電光譜儀接收系統(tǒng)的核心部分，主要是利用光電效應(yīng)將不同波長的輻射能轉(zhuǎn)化成光電流的信號(hào)。

　　ICP光譜儀的分析過程主要分三步，即激發(fā)、分光和檢測。其一，激發(fā)光源使試樣蒸發(fā)汽化，離解或分解為原子狀態(tài)，原子也可能進(jìn)一步電離成離子狀態(tài)。原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光；其二，利用分光器把光源發(fā)射的光色散為按波長排列的光譜；其三，利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進(jìn)行定性分析，或按發(fā)射光強(qiáng)度進(jìn)行定量分析。