ICP光譜儀射頻發(fā)生器產(chǎn)生的高頻功率通過感應(yīng)工作線圈加到三層同心石英炬管上，形成高頻振蕩電磁場(chǎng)；在石英炬管的外層通入氬氣，并進(jìn)行高壓放電產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在高頻電磁場(chǎng)中往復(fù)運(yùn)動(dòng)與其他氬原子碰撞，產(chǎn)生更多的帶電粒子，同時(shí)溫度升高，終形成氬氣等離子體，等離子體的溫度可達(dá)6000K～8000K。待測(cè)水溶液試樣通過霧化器形成的氣溶膠進(jìn)入石英炬管中心通道，在高溫環(huán)境下受到激發(fā)，發(fā)射出溶液中所含元素的特征譜線；通過對(duì)等離子體光源進(jìn)行采光，并利用掃描分光器進(jìn)行掃描分光，將待測(cè)元素的特征譜線光強(qiáng)準(zhǔn)確定位于出口狹縫處，利用光電倍增管將該譜線光強(qiáng)轉(zhuǎn)變成光電流，再經(jīng)電路處理和模數(shù)變換后，進(jìn)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理

　　ICP光譜儀，是根據(jù)試樣中被測(cè)元素的原子或離子，對(duì)各元素進(jìn)行定性和定量分析的儀器；該儀器具有樣品用量少，應(yīng)用范圍廣且快速，靈敏和選擇性好等特點(diǎn)。

　　當(dāng)然，該儀器也存在不能應(yīng)用于有機(jī)物、對(duì)標(biāo)準(zhǔn)試樣要求高、不宜作個(gè)別分析的缺點(diǎn)。其主要應(yīng)用于地質(zhì)普查、找礦；對(duì)于鋼鐵、冶金等部門，可進(jìn)行生產(chǎn)控制分析和快速分析。特別是電感耦合等離子發(fā)射光源（如圖）和多通道光電直讀光譜儀，使原子發(fā)射光譜的應(yīng)用得到了迅速的發(fā)展。

　　ICP測(cè)試的有效波長(zhǎng)范圍是120-800nm，其中120-160nm波段尤其適用于分析鹵素或者某些特殊應(yīng)用的替代普線。通常測(cè)試的樣品后必須保持澄清，顆粒、懸濁物有可能堵塞內(nèi)室借口或者通道；溶解液不能含有堆一起有損壞的成分，如HF、強(qiáng)堿等；相對(duì)于ICP-MAS，ICP-AES測(cè)試的級(jí)別為ug/L(ppb)。